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凈化設備干貨

半導體潔凈室潔凈車間(電子廠潔凈室等級及潔凈標準)

作者:深圳茗智凈化  發(fā)布時間:2023-08-01

  無塵車間是可以分成幾個等級的,十級、百級、千級、萬級、十萬級等,現(xiàn)下的芯片可以說是非?;馃岬漠a品,因為很多電子產品都離不開這種東西,不過它生產起來的要求是比較高的,那么芯片廠房的潔凈度是要達到多少級的呢?今天合潔科技電子凈化工程就跟大家講解下吧!

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  芯片廠房的潔凈度一般要求是百級,當然具體看是哪類產品,如果要求不高的廠房,等級也可以適當放寬。半導體材料電子器件工作環(huán)境要求的氣體潔凈度等級關鍵在于半導體材料電子器件的集成化度,不一樣的工藝流程的氣體潔凈度等級是根據可能環(huán)境污染的幾率和對電子元器件的潛在性常見故障明確的。

  半導體材料生產制造對氣體潔凈度有高規(guī)定,基本建設的芯片廠房達‘百級’潔凈度。說白了“百級”潔凈,即每立方英寸空氣中粒度高于或等于0.5μm的顆粒總數不超過100個,媲美最大潔凈等級規(guī)范。為確保“百級”潔凈,芯片廠房選用華夫板(運用混凝土樓板內孔眼產生送風安全通道的混凝土樓板)高精度工程施工,并創(chuàng)建潔凈中央空調排風系統(tǒng)產生送風安全通道。芯片廠房華夫板厚度70CM,能抗微震;華夫板總面積達1410平米,在其中混凝土澆筑有35000個直徑35CM的奇氏筒,等同于每2平米就會有5個用以通氣的環(huán)形孔眼。到時候,芯片生產線布局于華夫板上,白車身間運用家用新風系統(tǒng)進氣口確保正壓力,并根據華夫板送風安全通道排氣管,最后確保生產車間潔凈度。

  目前世界各國的電子器件生產制造企業(yè)、生產廠家按分別生產制造的產品種類、采用的制作工藝技術性、生產設備、生產制造用原輔材料及其潔凈室的社會經驗等經濟發(fā)展地明確電子器件潔凈廠房各工藝流程(屋子)要求的氣體潔凈度等級。據統(tǒng)計,各電子器件生產制造企業(yè)、生產廠家在設計方案修建電子器件車間凈化工程項目的潔凈廠房時采用的氣體潔凈度等級、潔凈室的平面圖和空間規(guī)劃、空氣凈化設備、潔凈室工程建筑等層面的技術規(guī)范、技術措施均各有特色、各有不同。

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